レーザーマーキング装置（2）

FOSBに収納されたウエハを取り出し、OCRステージにて、ウエハ表面の刻印をコードリーダーで読み込みます。

その後、印字ステージへ搬送し、レーザーマーカーで個片チップへ印字後、FOSBへ収納します。

段取り替えにより、8インチ、12インチどちらでも対応可能です。