チップ選別・保護フィルム貼付装置

ウエハリングマガジンに収納されたウエハを取り出し、ウエハ個片チップに印字されたバーコードをコードリーダーで読み込みます。

チップソートは、予めチップの良否情報が書き込まれたMAPファイルを取得し、装置へ展開します。

ウエハをチップ認識カメラでアライメントし、チップへ個片化します。

個片化したチップの洗浄と保護フィルムの貼付けを行います。